Ограниченная разрешающая способность приборов

Оказывается, когда неровности малы и расположены на близких расстояниях, соизмеримых с линейной величиной разрешающей способности метода, погрешности начинают приобретать систематический характер.

Это справедливо как для оптических, так и для щуповых приборов. Ограниченность разрешающей способности метода определения высот неровностей приводит к тому, что при уменьшении шагов до некоторого предельного значения, близкого к пределу разрешения по полю, наступает такой момент, когда появляется «недоощупывание». Для оптических приборов, где фактическое ощупывание рельефа не происходит, можно применять термин недостаточной «проникающей способности».

То есть ограниченная разрешающая способность приборов, измеряющих степень шероховатости поверхности, не позволяет наблюдателю проникнуть в глубокие и сравнительно узкие впадины. Существует ли связь между числовыми характеристиками «недоощупывания» профилирующими щуповыми приборами и ограниченными возможностями «проникающей способности» оптических приборов? Поэтому хотя эти примеры не отражают действительных закономерностей, однако указывают возможный путь решения проблемы.

Более широко этот вопрос может быть поставлен и решен только при рассмотрении полос пропускания частот неровностей различными приборами и сравнении результатов, получаемых различными методами. Одинаковый характер влияния ограниченной разрешающей способности метода при работе с оптическими и щуповыми приборами можно иллюстрировать следующими простыми примерами, значительно упрощенными по сравнению с встречающимися в практике случаями.

Рассмотрим изображение схематических неровностей, получаемых методом светового сечения или подобным ему методом для двух случаев.