Профилирующее приспособление к микроинтерферометру Линника

Чувствительность оптико-механических методов все-таки ограничена, поэтому представляло интерес решить вопрос об использовании преимуществ и чувствительности интерференционного метода в условиях профилирования поверхностей с помощью иглы. Описанное ниже профилирующее приспособление к микроинтерферометру Линника предназначено для изучения микропрофиля различных поверхностей путем ощупывания алмазной иглой и регистрации перемещения иглы по изменению интерференционной картины.

Приспособление позволяет получать интерферограммы, соответствующие микропрофилю изучаемой поверхности, для которой непосредственное наблюдение интерференционной картины в микроинтерферометре невозможно из-за нерегулярного расположения отдельных микронеровностей (например, на матовых стеклянных поверхностях с путаным штрихом, травленых поверхностях металлов и т. п.).

Профилирование с предлагаемым приспособлением имеет то преимущество перед существующими системами оптико-механических и электромеханических профилографов, что не требует предварительной градуировки и определения масштаба вертикального увеличения. Этот масштаб определяют на самой интерферограмме по расстоянию между интерференционными максимумами для известной длины волны примененного монохроматического света.

Приспособление состоит из трех основных узлов: ощупывающей головки, перемещающейся кассеты и привода с мотором. Все узлы приспособления можно свободно монтировать на микроинтерферометре типа МИИ-4, не изменяя его конструкцию. Ощупывающую головку располагают на микрометрическом столике микроскопа; с ее помощью можно выполнять профилирование в каком-либо одном направлении на трассе от 1 до 3 мм.