Разрешающая способность оптических приборов

В настоящее время для сохранения единообразия в оценке шероховатости поверхности методами профилирования установлены стандарты на основные параметры профилирующих приборов. Для средней области шероховатости с высотами неровностей в пределах от нескольких микрометров до десятых долей его, что соответствует классам шероховатости от 5-го до 12-го, наиболее рациональным считается радиус закругления иглы, равный 10 мкм.

Таким образом, если сравнить разрешающую способность оптических приборов и профилирующих с установленным радиусом закругления иглы, то можно заметить существенное различие в разрешающей способности вдоль поверхности (вдоль осей). Эта способность значительно меньше для профилирующих приборов, не считая случая, когда радиус закругления инструмента порядка 2-3 мкм, что в практике встречается не так часто.

Итак, всякий профилирующий прибор, дающий возможность либо получать профиль поверхности, либо непосредственно характеризовать ее состояние по выбранным критериям, включает следующие основные элементы: механическую систему движения иглы, непрерывно или с перерывами соприкасающейся с поверхностью; чувствительный элемент, который воспринимает движение иглы при ее перемещении и преобразует для измерения в какие-либо другие физические величины (электрический ток, частоту тока, давление воздуха, световой поток и пр.).

Регистрирующее устройство, позволяющее получать, в увеличенном масштабе профилограмму участка поверхности или же числовые характеристики шероховатости по выбранным критериям. Изготовление алмазной иглы с определенными радиусами закругления (особенно с весьма малыми) представляет довольно сложную технологическую задачу, и пригодные для профилирования иглы приходится отбирать из большой партии образцов.