Проекция молекулярного пучка

Всякая металлическая поверхность задерживает поток электронов, и поэтому на экране микроскопа была видна теневая картина профиля, соответствующего профилю объекта. Кроме метода электронного микроскопа, исследование более мелких неровностей можно осуществить и другим путем, применив проекцию молекулярного пучка, при которой влияние дифракции можно свести к минимуму, и в дальнейшем использовать все возможности современной микроскопии. Принцип исследования основан на следующем. При распылении металла в высоком вакууме его молекулы летят прямолинейно и покрывают поверхность отпечатка.

Конфигурация этой границы будет зависеть от характера микронеровностей отпечатка и от угла наклона молекулярного пучка а. Чем меньше этот угол, тем резче будут выделяться отдельные неровности. Высота образуемой тени зависит от истинной высоты неровности. Границу распыленного металла на отпечатке можно рассматривать в обычный биологический микроскоп, пользуясь объективом с любой возможной апертурой.

Предложенный метод был проверен автором при исследовании: различных поверхностей, например дифракционной решетки, доведенной поверхности концевой меры и др. В качестве распылителя была использована вольфрамовая нить с расположенными на ней «гусариками» алюминия. Для нанесения алюминиевого покрытия распылитель помещали под колпак вакуумной установки на расстоянии от отпечатка около 150 мм (угол 10°). Вакуум достигал 10 мм рт. ст.

Получаемую границу молекулярной «тени» затем рассматривали в биологический микроскоп с объективом и масляной иммерсией, имеющим апертуру 1,30. Показана картина, получаемая от поверхности, имеющей регулярные микронеровности глубиной 0,63 мкм (по измерению на микроинтерферометре).