Использование многолучевой интерференции

Приведена оптическая схема интерференционного микроскопа «Мультими» фирмы «Иоганссон», в котором использована многолучевая интерференция. Свет от ртутной лампы с помощью конденсора через тепловой фильтр направляется к коллиматорным линзам. На пути этих лучей могут быть включены различные фильтры для выделения какой-либо спектральной линии из излучения ртутной лампы. Обычно пользуются зеленой линией длиной волны 0,5461 мкм. Объект должен быть расположен максимально близко к разделительной пластинке, имеющей высокоотражающее покрытие.

Коллимационная система, состоящая из призмы и линз, служит для наблюдения в отраженном свете, а система призм и линз – для наблюдения в проходящем свете. С помощью линзы и кубика с полупрозрачным слоем свет концентрируется на поверхности исследуемого объекта. Прошедший через кубик пучок падает на относительное зеркало, и тогда микроскоп как бы представляет собою микроинтерферометр Линника. Для использования многолучевой интерференции по ходу лучей включают разделительную пластинку, а относительное зеркало исключают или закрывают.

Для монохроматического света в настоящее время применяют многослойные диэлектрические покрытия. Образующаяся интерференционная картина может быть рассмотрена в микроскоп, состоящий из объектива и окуляра. Для дополнительного увеличения в участок схемы с параллельным ходом лучей может быть включена добавочная телескопическая система.

При измерении в проходящем свете прозрачных объектов применяется система освещения снизу при помощи призм. В проходящем свете может быть применена только многолучевая интерференция. Кроме визуального наблюдения, с помощью зеркала можно переключить пучок в фотографическую камеру. Оптическое увеличение микроскопа в результате смены окуляра и включения дополнительной системы может достигать 50х, 130х и 350х.

Приведен вид интерференционных полос при многолучевой интерференции от алюминиевой поверхности, обработанной алмазным точением, и типичная картина интерференционных полос от поверхности стекла, покрытого алюминием методом испарения и имеющего протравленную канавку. Глубина этой канавки может быть измерена с точностью до 0,0005 мкм. Смещение полос составляет около 0,706 полосы, и так как расстояние между полосами соответствует изменению глубины канавки на 0,27304 мкм, то ее глубина равна 0,19276 мкм.