Оптическая система микроинтерферометра Линника с клиновым компенсатором

Абсолютное измерение расстояния от верхних точек выступов до нижних точек впадин, т. е. определение высот неровностей, становится возможным, если компенсировать возникающую разность хода. В качестве компенсатора может служить интерференционный клин, представляющий собою две плоские стеклянные пластинки со светоделительными слоями серебра, разделенные клиновидным воздушным промежутком. Перемещая клин в направлении, перпендикулярном оптической оси системы микроскопа, можно компенсировать различные разности хода в зависимости от постоянной клина и величины измеряемой неровности.

При установке такого клина в плоскости входного или выходного зрачка оптической системы интерференционного микроскопа (схема которого хорошо известна, и на ее деталях нет необходимости останавливаться) в поле зрения появляются полосы переналожения в белом свете всякий раз, когда разность хода, вызванная неровностями на изучаемой поверхности, равна толщине воздушного промежутка клина в данном месте.

Если совместить нить окуляра с черной ахроматической полосой и постепенно вводить клин, то в поле зрения появляется точно такая же вторая система интерференционных полос, возникающая в результате переналожения пучков лучей всякий раз, когда разность хода, вызванная неровностями на изучаемой поверхности, равна толщине воздушного клина. Постепенным перемещением клина обе системы интерференционных полос можно совместить.

Высокий коэффициент отражения светоделительных слоев клина (0,90-0,95) позволяет получить достаточно контрастные интерференционные полосы первого порядка при наблюдении картины в белом свете. Клиновидный компенсатор можно встроить в систему интерферометра таким образом, чтобы выводить его полностью.