Изменение высоты неровностей на половину длины волны соответствует искажению интерференционной полосы, равному интервалу между полосами. Таким образом, чувствительность интерференционного метода выражается сотыми долями микрометра. Применение интерференции света и изобретение микроинтерферометра значительно расширили пределы исследования шероховатости поверхности.
Дело в том, что, как уже было указано, приборы для измерения шероховатой поверхности имеют ограниченную разрешающую способность в отношении возможности и чувствительности измерений как по глубине (высот неровностей), так и в плоскости самого объекта, т. е. в координатах. Стало возможным наблюдать весьма малые неровности, высота которых исчисляется всего лишь сотыми долями микрометра, и наблюдать их при больших увеличениях и при большой апертуре объектива микроскопа.
Применение интерференционного микроскопа расширило пределы измерений в области шероховатости поверхности благодаря большой разрешающей способности прибора, которая зависит главным образом от апертуры объектива. Разрешающая способность е связана с апертурой, как известно, соотношением где длина волны выбранного светового излучения; апертура в числовом выражении, равная произведению синуса апертурного угла на показатель преломления среды, в которой находится объект.
Используя схему микроинтерферометра Линийка, удалось построить интерференционный прибор с апертурой объектива до 0,65. Типичная интерференционная картина, наблюдаемая в микроинтерферометр. Для получения контрастной интерференционной картины необходимо, чтобы степень точности двух объективов интерферометра была тем более одинаковой, чем больше их апертура. Практически в микроинтерферометре типа МИИ-4 приходится работать с объективами, апертура которых несколько меньше 0,65.