Приборы для измерения шероховатой поверхности

Изменение высоты неровностей на половину длины волны соответствует искажению интерференционной полосы, равному интервалу между полосами. Таким образом, чувствительность интерференционного метода выражается сотыми долями микрометра. Применение интерференции света и изобретение микроинтерферометра значительно расширили пределы исследования шероховатости поверхности.

Дело в том, что, как уже было указано, приборы для измерения шероховатой поверхности имеют ограниченную разрешающую способность в отношении возможности и чувствительности измерений как по глубине (высот неровностей), так и в плоскости самого объекта, т. е. в координатах. Стало возможным наблюдать весьма малые неровности, высота которых исчисляется всего лишь сотыми долями микрометра, и наблюдать их при больших увеличениях и при большой апертуре объектива микроскопа.

Применение интерференционного микроскопа расширило пределы измерений в области шероховатости поверхности благодаря большой разрешающей способности прибора, которая зависит главным образом от апертуры объектива. Разрешающая способность е связана с апертурой, как известно, соотношением где длина волны выбранного светового излучения; апертура в числовом выражении, равная произведению синуса апертурного угла на показатель преломления среды, в которой находится объект.

Используя схему микроинтерферометра Линийка, удалось построить интерференционный прибор с апертурой объектива до 0,65. Типичная интерференционная картина, наблюдаемая в микроинтерферометр. Для получения контрастной интерференционной картины необходимо, чтобы степень точности двух объективов интерферометра была тем более одинаковой, чем больше их апертура. Практически в микроинтерферометре типа МИИ-4 приходится работать с объективами, апертура которых несколько меньше 0,65.