Горизонтальный масштаб увеличения

Если поверхность лишена неровностей, муаровые полосы составят систему прямых темных и светлых линий. При наличии неровностей муаровые полосы повторят конфигурацию профиля поверхности. Искривление муаровых полос прямо пропорционально масштабу проектируемого растра. Таким образом, если шаг проектируемого растра 1 мкм, то расстояние между полосами муара будет соответствовать изменениям неровностей на поверхности также на 1 мкм.

Горизонтальный масштаб увеличения (в направлении базы) определяется линейным увеличением объектива наблюдательной системы, а масштаб в направлении высот неровностей (вертикальный) может быть различным и зависит как от цены деления растровой сетки, так и от угла между направлениями штрихов изображения первого и второго растров. При изменении этого угла будет меняться расстояние между муаровыми полосами, но цена деления и, следовательно, чувствительность системы остаются постоянными.

Соотношение горизонтального и вертикального масштабов увеличения профиля поверхности можно, таким образом, изменить в широких пределах. Такая система растровой проекции подобна применению для этой же цели интерференции, однако цена деления муаровых полос может быть выбрана и рассчитана произвольно, что позволяет создать системы для различных и достаточно больших пределов измерений по высоте неровностей – от нескольких до сотен микрометров.

Вероятно, данный метод исследования может найти применение там, где необходимо наблюдать неровности, относящиеся как к грубой шероховатости, так и к волнистости, когда поле зрения двойного микроскопа недостаточно – например при исследовании поверхности древесины и пр.