Задача осреднения измеряемых параметров

Представлена схема такого вибрационного приспособления. Исследуемый образец помещают на столик вибратора, покоящийся на четырех плоских пружинах. Поставленную задачу осреднения измеряемых параметров по некоторой площади исследуемой поверхности можно облегчить, применив для бесконтактных методов автоматическое усредняющее устройство. Осреднение достигается периодическим возвратно-поступательным по отношению к измерительному прибору движением образца в плоскости расположения неровностей и в направлении, перпендикулярном профилю, т. е. линии базы, – следовательно, параллельно направлению штрихов (следов обработки).

При питании электрической схемы вибратора током сетевой частоты (50 Гц) отдельные дефекты поверхности полностью размываются, и картина становится однородной. При работе вибратора результаты соответствующих элементов профиля дают усредненное значение по площади, где базовая длина или линейная величина поля зрения в плоскости образца; амплитуда перемещения образца. Дана картина поля зрения двойного микроскопа типа МИС-11 при неподвижном положении образца и при вибрации.

Дальнейшим усовершенствованием работы с двойным микроскопом является применение так называемого эквиденситометрического метода исследования, предложенного Лау и Кругом в работе. Давно было замечено, что размытость краев изображения границы тени приводит к невозможности точного наведения на эту границу измерительного устройства (нити окулярного микрометра). Кроме того, определение положения этой границы может включать систематические погрешности, связанные с физиологическими особенностями глаза наблюдателя.

Образец поверхности имеет дефекты, искажающие картину профиля при обычном способе наблюдения. При включении вибратора качество картины профиля заметно улучшается.