Метод теневой проекции

Приведенная выше методика (Световое сечение) справедлива для случая измерений глубины параллельных друг другу канавок, если изображение щели направлено перпендикулярно этим канавкам. В случае хаотического направления следов обработки такой же глубины наблюдаемое искривление изображения щели будет несколько меньшим. Расчет показывает, что при этом может возникнуть погрешность измерения до 10%.

Видоизменением метода светового сечения является так называемый метод теневой проекции. Этот метод удобен для исследования сравнительно грубых поверхностей. Принцип метода заключается в следующем: на исследуемую поверхность направляют пучок света под некоторым углом и на пути этого пучка располагают экран с прямолинейными краями настолько близко к поверхности, что рассеяние лучей, вызванное конечными размерами источника света, невелико. Граница тени при отражении световых пучков от поверхности представляет собой теневую картину профиля того участка, против которого находится экран.

Эту границу можно рассмотреть через микроскоп. Одним из видоизменений этого метода является метод, разработанный Бернавским, предложившим в работе вместо экрана накладывать на поверхность стеклянную пластину с нанесенной сеткой продольных и поперечных непрозрачных линий. При боковом освещении теневая проекция отдельных штрихов будет искажаться в зависимости от характера неровностей поверхности.

Перемещая наблюдательную систему по отношению к поверхности сетки, можно рассматривать неровности, расположенные на различных ее участках. Это позволяет исследовать более общие характеристики поверхности и судить о неровностях не только на одном участке, но, до некоторой степени, и на всей поверхности.