Погрешность определения высоты неровности

В первом расстояния между неровностями значительно больше, чем предел разрешения вдоль оси, т. е. и погрешности в определении высот неровностей имеют случайный характер. Если и будет существовать систематическая погрешность определения высоты неровности, то она обусловливается погрешностью вычисления масштаба увеличения, физиологическими особенностями глаз наблюдателя и т. д.

Во втором случае, при сохранении одинаковых прочих условий наблюдения, расстояния между неровностями близки по величине к пределу разрешения данным методом. Наблюдаемые высоты неровностей оказываются меньшими, общая картина становится более размытой, и наблюдатель не замечает слишком малых неровностей. Следует отметить, что практически очень трудно установить общие закономерности появления систематических погрешностей измерения высот в зависимости от разрешающей способности по полю, так как эта закономерность зависит еще и от формы самих неровностей.

Можно было предположить, что если рассматривать эти неровности через оптическую систему с различной разрешающей способностью вдоль оси, оставляя разрешающую силу в направлении высот неровностей неизменной и достаточно высокой, то определится граница разрешающей способности, при которой уменьшается точность определения высот и появляются систематические погрешности их определения. Для решения этой задачи не было необходимости знать абсолютное значение разрешающей способности, так как профили представлены в условном масштабе.

Однако в некоторых случаях решение оказывается возможным. Описанный ниже эксперимент позволяет доказать это и эмпирически установить связь между разрешающей способностью прибора и появлением систематических погрешностей. Все неровности были взяты одной и той же высоты и отличались только шириной штриха.